增加产能
Aerotech 提供生产就绪的半导体光刻、检测、计量和微转印自动化子系统，并且我们的半导体自动化解决方案深受全球领先创新 OEM 的信赖。
您需要在不牺牲准确性的情况下更大限度地提高生产力和产量。我们在优化设计中结合机械、控制系统和电子产品，为您的制造或检测应用提供尽可能高的产能。我们通过扩展半导体自动化设备的功能和应用来变革半导体行业。加速您的半导体制造和检测。
精密性
随着电子产品尺寸的不断缩小以满足消费者需求，您对晶圆制造和检测精度的需求也在不断增长。小型电子产品需要精密高效的半导体设备。我们的精密运动控制和先进的机电一体化可提供微米级和纳米级的精度，满足新一代电子设备更严格的要求。
可靠性
我们可让您的工艺流程顺利运转。我们先进的运动控制技术建立在传统质量和工艺的基础上，因此它们可日复一日、年复一年地正常运转。这就是全球高端半导体制造商信赖我们的原因。
我们与半导体行业的公司合作长达数十年，因此能够协助您以更有效的方式制造晶圆和芯片。
全球支持和服务
我们坚信稳定长期的合作关系。我们的精密运动控制专家遍布全球各地，为您的团队提供从设计到交付、再到日常生产的全方位支持。您可在您需要的时间和地点得到所需的帮助。
Aerotech 拥有与半导体行业公司合作的经验。借助丰富的半导体研究成果，我们能够协助您以更有效的工艺使用更理想的半导体材料制造晶圆和芯片。
我们将始终满足您的期望。
年
实现高精度芯片制造和检测
nm
Aerotech 设备支持的半导体技术节点
hPa
高端半导体工艺的真空经验
半导体应用专业知识
晶圆检测与计量
直写式无掩模光刻
集成电路和晶圆封装
晶圆切片
资源
Video
Planar HDX – Two-Axis Ultra-Precision Planar Air-Bearing Stage
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Capability Overview
Engineering and Manufacturing Vacuum Capabilities
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Application Note
Automation1 Servo Drives Improve In-Position Stability
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Feature Overview
Dynamic Gain Scheduling
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Multi-Axis Laser Micromachining System with AGV5D Precession Scanner
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White Paper
Machine Positioning Uncertainty with Laser Interferometer Feedback
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Engineering Tutorial
Linear Motor Application Guide
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Feature Overview
Position Synchronized Output (PSO) – Coordinate Part Position with Process Control
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